专利名称：基板检查装置专利类型：发明专利发明人：藤崎畅夫,伊藤一也申请号：CN02821929.5申请日：20021105公开号：CN1582393A公开日：20050216
摘要：本发明的基板检查装置具备：固定台，载置被检查体；门型臂，设置成跨越载置于该固定台上的所述被检查体；两个检查头，中间夹着该门型臂的水平梁、且以相互背对的状态设置。
申请人：奥林巴斯株式会社
地址：日本东京
国籍：JP
代理机构：永新专利商标代理有限公司
代理人：黄剑锋
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