您的当前位置：首页 (酰胺氨基烷烃)金属化合物及使用所述金属化合物制备含金属的薄膜的方法[发明专利]

(酰胺氨基烷烃)金属化合物及使用所述金属化合物制备含金属的薄膜的方法[发明专利]

来源：东饰资讯网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：(酰胺氨基烷烃)金属化合物及使用所述金属化合物

制备含金属的薄膜的方法

专利类型：发明专利

发明人：藤村整,金户宏树,白井昌志,二瓶央申请号：CN201180063769.2申请日：20111102公开号：CN103313993A公开日：20130918

摘要：本发明公开了一种由通式（1）表示的(酰胺氨基烷烃)金属化合物和一种使用所述金属化合物制备含该金属的薄膜的方法。（所述式中，M代表金属原子；R代表具有1-6个碳原子的直链、支链或环状的烷基；R和R可以彼此相同或不同，各自地代表具有1-3个碳原子的直链或支链的烷基，或R和R可以与它们连接的氮原子一起形成一个经取代的或未经取代的5元或6元环。Z代表具有1-10个碳原子的直链或支链的亚烷基（但是，可选地，其一部分可形成环）。配位体的数目由n表示，n为1-3中的一个整数，并且等于金属M的化合价数。但是，排除M为Li（锂）、Be（铍）、Ge（锗）或Nd（钕）的情况，M为Mg（镁）且R为甲基的情况，M为Zn（锌）且R为甲基的情况，M为Bi（铋）且R为叔丁基的情况。此外，当n为2或更大时，两个或多个配位体可以彼此相同或不同）。

申请人：宇部兴产株式会社

地址：日本山口县宇部市

国籍：JP

代理机构：北京同立钧成知识产权代理有限公司

代理人：臧建明

更多信息请下载全文后查看

因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容

查看全文