专利名称：一种变温测试系统专利类型：发明专利发明人：傅霖来,黄立,周文洪申请号：CN201711085891.5申请日：20171107公开号：CN108168705A公开日：20180615
摘要：本发明属于集成式测试系统领域，公开了一种变温测试系统，包括第一壳体、设置于所述第一壳体内的背景组件、第二壳体以及设置于所述第二壳体内的测试组件，所述第一壳体的第一端与所述第二壳体的第一端气密连接，所述测试组件的测试面与所述背景组件的辐射发射面相对设置，所述第一壳体或所述第二壳体上设置有真空接口，所述背景组件用于向所述测试组件提供背景辐射。本发明实现了将背景组件以及测试组件的集成，从而可以达到更低的背景温度、工作温度以及真空度，从而保证了芯片测试的准确率以及系统的抗干扰能力。
申请人：武汉高芯科技有限公司
地址：430205 湖北省武汉市东湖开发区黄龙山南路6号2号楼
国籍：CN
代理机构：北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：张强
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