吴雪梅;邬钦崇
【期刊名称】《苏州大学学报：自然科学版》 【年(卷),期】1993(009)001
【摘 要】本工作用电子回旋共振(ECR)等离子体溅射方法,选取各种不同结构的纯金属圆筒靶材料:Ti(hcp),Au(fcc),cu(fcc),Mo(bcc),Sn(四面体),在室温基片上沉积出各种金属薄膜,基体为玻璃、NaCI单晶.用XRD的物相分析与线形分析和TEM形貌观察与电子衍射,确定了Ti、Au、Cu薄膜都是纳米晶粒(a<10nm)组成的fcc结构多晶膜.用TEM的形貌观察与电子衍射确定了Mo、Sn膜为非晶结构的薄膜,Mo膜的非晶结构比较稳定,sn膜的非晶结构很不稳定,在TEM的电子束照射下迅速晶化并成核长大.本文讨论了溅射成膜过程对膜的结构和粒径的影响. 【总页数】5页(P51-55) 【作 者】吴雪梅;邬钦崇 【作者单位】不详;不详 【正文语种】中 文 【中图分类】O484.1 【相关文献】
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